近日，我院于大全教授团队在玻璃基集成无源器件技术方面取得新进展，相关成果以 “A Low-Loss Bandpass Filter with Stacked Double-Layer Structure using Glass-based Integrated Passive Device Technology”为题发表在《IEEE Electron Device Letters》杂志上，报道了利用先进工艺在玻璃衬底上设计并实现了一款双层堆叠结构的低插入损耗、小尺寸、低成本的无源射频滤波器。

射频滤波器作为无线通讯系统中重要的组成部分，广泛的应用于射频前端，起到信号选择的作用。随着5G技术的发展，射频滤波器在多输入多输出（MIMO）系统中发挥着重要的作用。传统技术如基于CMOS、LTCC、Si、GaAs等技术的滤波器的插入损耗较大、尺寸较大以及成本较高。

于大全教授团队基于两种优化的器件结构空气腔电容和多层堆叠三维电感组成基本谐振单元，在玻璃衬底上设计了一款三阶的无源射频滤波器，并通过可控传输零点技术引入了三个传输零点用以提高带外抑制。加工采用低成本的玻璃基晶圆级工艺，分别进行顶层晶圆和底层晶圆的制作，然后通过铜锡键合的方式实现整体结构的互联，最终在0.018λ₀ × 0.013λ₀的小尺寸下实现了中心频率处插入损耗低至-0.81dB的无源射频滤波器。

该项工作由厦门大学与厦门云天半导体科技有限公司合作完成，于大全教授为论文通讯作者，2020级硕士马浩哲为第一作者。研究工作得到了国家自然科学基金（No. 61974121）等科技计划资助。

（图文：马浩哲）